除了EUV光刻机，5nm芯片还需要一种关键设备，也被美国禁售
众所周知，目前的硅基芯片，其制造过程都离不开光刻工艺，所以光刻机必不可少。
干式光刻机ArF Dry，最多可以实现65nm制程。浸润式光刻机ArFi可以实现的最小制程是7nm，而到了7nm以下，就需要EUV光刻机了。
目前国内的芯片制造工艺，一直卡在14nm，进入不了10nm、7nm等，很多人认为主要是光刻机被卡住了。
毕竟之前中芯的梁孟松也是这么说的，他说7nm制程的研究工作，已经全部做好，5nm制程的最大难点，也在进行中，只等EUV光刻机的到来。
但其实现5nm，真的买到EUV光刻机就行了么，并不是的，还有一种关键设备非常重要，且这种关键设备，也是被美国禁售的。
这种关键设备就是多束电子束光刻机，它与EUV光刻机的作用截然不同。
这种电子束光刻机用在哪里？用在光摸膜板的制造上。
我们知道目前的芯片制造，类似于投影，先制造出光掩膜板，把电路图刻在光掩膜板上，类似于制造一张“幻灯片底片”，而一颗高端芯片通常需要60-90块光刻掩模，其中EUV掩模数量为5-10块，单块成本最高可达200万美元以上。
然后再利用光刻机，用光线来照射光掩膜板，将上面的图刻录到硅晶圆上去。
光掩膜板的精度，其实要高于芯片的精度要求的，毕竟它是底片。而制造这种光掩膜板就需要电子束光刻设备，也是不可替代的。
目前全球仅4家主要企业，能够制造这种多束电子束光刻机，分别是日本的JEOL公司、Nuflare公司、德国的Vistec公司和奥地利的IMS（ IMS Nanofabrication GmbH）公司。其中IMS已被英特尔收购。
这4家中，日本Nuflare 公司最牛，拿下全球90%的份额，也是唯一一家能够具备3nm摸膜板制备能力的厂商。
而这种设备，当然也是被禁运的，是直接被写入《瓦森纳协定》中进行管控的。
可见，真要实现5nm芯片，我们要补的课还非常多，不仅仅是EUV光刻机，还有这种电子束光刻机，甚至除了这两种外，还有各种各样的设备、材料等等。
大家别都只盯着EUV光刻机，它也不过是众多设备中的一种，这些设备缺一不可，所以国产芯片产业链加油吧，路还很漫长。
推荐文章
-
回溯中国光刻机发展历史，曾经也是全球第一梯队。在上世纪70年代末，中国光刻机展开接触式、接近式光刻机及投影式光刻技术研究，80年代末就实现第一台分步式光刻机的开发，但多种因素影响下，90年代至本世纪初，中国光刻机研发显著落后。 凭借半导体发源地优势，美系厂商在光刻机竞争中率先起步，日系企业依托精密光学与政策扶持在DUV时代登顶，中国为应对全球竞争，不得不先采购美日生产的光刻机，至2024年，中国已成为全球最大光刻机采购市场，贡献ASML营收41%，外界普遍猜测，这是中国在美彻底封锁光刻机出口前集中采购。 从2018年开始，美国施压对华高端光刻机的出口，之后又陆续出台“1007新规”等针对政策，限制对中国出口先进制程芯片设备，包括EUV光刻机和先进型号的DUV光刻机，联合日本荷兰制定相关出口条例共同对华进行产业封锁，中国自此加速光刻机国产替代进程，至2025年，中国在光刻机领域已经取得明显突破。 在此期间，美国鼓动其盟友限制向中国出口光刻机，导致中国多种芯片短缺的窘迫局面已经大幅改善，华为麒麟旗舰芯片已于20... -
2025年12月9日晚间，半导体行业期待已久的重磅合并案意外落幕。海光信息与中科曙光双双发布公告，宣布终止持续半年多的吸并重组计划。这一曾被部分投资机构人士称为“国内算力产业最大吸并案”的交易，最终因“交易规模较大、涉及相关方较多，且市场环境发生较大变化，实施条件尚不成熟”而告吹。 从5月25日首次公布合并计划，到12月9日宣布终止，这场原本有望打造从芯片到服务器的国内算力产业龙头的交易，在历经半年多的筹划后悄然收场。深夜的公告为本就寒冷的冬日增添了更多寒意。 合并终止，连锁反应显现 随着两家公司董事会在同一天审议通过终止议案，这一宏图暂时搁浅。更具连锁反应的是，由于换股吸收合并的终止，海光信息也同步取消了对曙光数创的要约收购事项。 在过去的半年多时间里，两家公司为推进这一交易付出了持续努力。自2025年7月起，中科曙光曾连续发布6次重大资产重组进展公告。这些公告一直强调，交易前后海光信息均无实际控制人，不构成重组上市情形。 市场环境的快速变化最终使得这一交易难以继续推进。两家公司在公告中均...
-
当全球半导体产业在 AI 浪潮与消费电子复苏的双重驱动下加速回暖，晶圆代工领域的核心玩家正陆续交出 2025 年第三季度的答卷。11 月上旬至中旬，国产晶圆代工 “双雄” 华虹半导体与中芯国际相继披露最新财报。11月13日，中芯国际披露财报显示，Q3销售收入为23.82亿美元，同比增长9.7%；毛利率为22%，环比上升1.6%。产能利用率上升至95.8%，环比增长3.3个百分点。 根据未经审核的财务数据，中芯国际前三个季度收入为68.38亿美元, 较去年同期增长17.4%；毛利率为21.6%, 较去年同期增长5.3个百分点；资本开支合计57亿美元。 中芯国际表示，四季度按照国际财务报告准则，公司收入指引为环比持平到增长2%，毛利率指引为18%到20%。对于净利润变动，中芯国际表示，主要是由于晶圆销量同比增加及产品组合变动所致。 以地区收入分类看，中国、美国、欧亚占比分别为86%、11%和3%。从产品尺寸来看，12 英寸晶圆仍是主流，2025 年第三季度收入占比达 77.0%。 从产能及出货量来看，折合8英寸标准逻辑，中芯国际第三季度月产能达到102.28万片，突破百万片；销售晶圆数量...
