ASML的“末日狂欢”:EUV光刻机,难有下一代,未来没了

作者: 上海桐烨
发布于: 2024-02-22 09:18

2023年,是ASML狂欢的一年,这一年卖出了276亿欧元的光刻机,同比增长30%,而净利润为78亿欧元,同比增长43%,毛利率高达51.3%。

2023年这一年,ASML卖出了53台EUV光刻机,125台浸润式DUV光刻机,32台普通干式DUV光刻机,184台KrF光刻机,55台L-line光刻机,所有类型的光刻机,都比2022年销量多。

而对于2024年,ASML不乐观表示预计和2023年差不多。

事实上,2024年,理应是ASML大量发展的一年,为何预计却不会再有什么增长呢?原因在于ASML的EUV光刻机,已经发展到极限,难有下一代了,前路已经被堵了。

目前ASML最大的营收来源,其实是靠EUV光刻机,2023年为例,53台EUV光刻机,每台1.8亿美元左右,这里就贡献了近100亿美元,三分之一啊。

现在主要销售的EUV光刻机,是NA=0.33的光刻机,NA也称之为数值孔径,也称之为Low-NA系统,因为0.33是低数值孔径。

这种光刻机,能实现26nm的最小金属间距和25-30nm尖端到尖端的近似互连空间间距,比较理想的,是实现3nm的芯片制造。

而NA=0.55的光刻机,数值孔径变大了,称之为Higt-Na系统,可以实现16nm的最小金属间距,可实现2nm以下制程节点,甚至达到1nm。

不过这种NA=0.55的光刻机,成本高昂,达到了3.8亿美元去了,相比上一代贵了一倍,同时ASML表示,目前产能还很差,一年也就只能生产不到10个出来,所以ASML并不是特别看好它,毕竟目前的0.33NA的光刻机,也能生产2nm芯片。

而制造3nm的芯片厂,才2家,大家原有的EUV光刻机不会淘汰掉,现在NA=0.55的光刻机,肯定销量不会特别好,所以对2024年并不是很乐观,觉得能够维持住2023年的营收,就不错了。

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