中国芯片加速5纳米量产，以现有设备实现先进工艺的突破
据了解北京一家企业正在研发一种利用现有光刻机生产5纳米工艺的技术，预计很快就能实现量产，该工艺的核心技术是自对准四重图案化（SAQP）技术，类似技术曾被台积电用于7纳米，Intel也曾试图利用该项技术。
Intel是最早考虑多重曝光技术的，2014年它就已量产14纳米工艺，2016年ASML还没量产EUV光刻机，Intel就试图利用DUV光刻机辅以多重曝光技术，提升晶体管密度，研发自己的10纳米工艺，结果Intel玩砸了，EUV光刻机量产后，Intel都未量产10纳米，又推倒重来采用EUV光刻机生产10纳米。
台积电的7纳米工艺就采用了DUV光刻机生产，如此做是为了尽快量产7纳米，并确保7纳米工艺的量产；当时三星却率先采用了EUV光刻机生产7纳米，结果是台积电用DUV光刻机生产的7纳米良率更高，在吃透了7纳米技术之后，台积电再用EUV光刻机生产7纳米，提升7纳米技术的性能。
Intel的10纳米被认为与台积电和三星的7纳米相当，这也是业界质疑台积电和三星玩数字游戏的原因，而台积电的10纳米工艺几乎是昙花一现，7纳米量产后，10纳米几乎被舍弃，芯片企业要么采用16纳米，要么直接用7纳米，可以说台积电的10纳米工艺就是一种过渡工艺。
如今这项多重曝光技术得到中国芯片行业的青睐，则在于中国芯片行业难以得到EUV光刻机，选择多重曝光技术实属无奈，但是如果采用这项技术实现5纳米工艺，对于中国芯片行业来说则是重大突破。
由于众所周知的因素所影响，中国的手机芯片、AI芯片等等都无法由台积电以先进的5纳米工艺生产，这对中国芯片行业影响巨大，毕竟更先进的工艺可以带来更强的性能和更低的功耗，增强芯片竞争力。
中国芯片研发的SAQP技术也有弊端，那就是多曝光一次，芯片的良率就会进一步下降，成本上升，不过在当前环境下，实现先进工艺的量产，对于国产芯片来说那是0与1的关系，只要能量产，那么对于中国芯片来说就具有重要意义。
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