ASML的EUV光刻机,走进“死胡同”了?

作者: 上海桐烨
发布于: 2025-06-06 14:10

作为全球第一大光刻机厂商,也是唯一掌握EUV光刻机技术的厂商,理论上而言,ASML的日子是相当滋润的。

毕竟EUV光刻机是制造7nm以下芯片必备机器,所以全球的顶尖芯片厂,都要抢ASML的EUV光刻机,看它的脸色行事,它卡着全球芯片厂商的脖子啊。

但是,从最近的情况来看,这家理论上风光无限的光刻机巨头,日子却也没有想象中的好过,原因就是它们的“印钞机”EUV光刻机,似乎失灵了。

我们知道,ASML的光刻机,是与芯片工艺应对的,KrF、ArF、ArFi、EUV等等,对应着不同的工艺。制造什么样的芯片,就要买哪一种光刻机。

而全球的芯片工艺不断前进,所以芯片厂商们,也要不断的买新光刻机,不停的更新换代,ASML为此赚的盆满钵满的。

但是进入到EUV之后,这种更新换代就难了,一方面是研发最新款的EUV光刻机,实在是太难,成本太高了。二是研发出来,也因为成本太高,芯片厂商们不愿意买,卖不掉啊。

先说研发难的问题,之前的EUV光刻机,其NA=0.33也就是数值孔径是0.33,而新一代叫做 High NA EUV,其数值孔径是0.55。

别小看了只提升这么0.22,但是难度系数增加了N多,导致这一代的High NA EUV研发了好多年才研发出来,至于下一代,会不会有,还不清楚呢。

第一代NA0.33的EUV光刻机,大约是1.5亿美元一台,而新一代的High NA EUV,其价格高达4亿美元,是原来的近三倍了。

1.5亿美元就是10亿多人民币,已经是够厉害了,这一代4亿美元美元,就是近40亿人民币了,已经是贵到离谱了。

所以,客户也没那么傻,能不换成最新的High NA EUV NA0.55光刻机,就尽量不换,毕竟40亿一台,台积电100多台全换要多少钱?4000亿啊。

比如台积电,在2nm工艺时,就不使用这种High NA EUV光刻机,不仅2nm不用,连1.6nm、1.4nm工艺都不用,表示称,价格太贵,划不来,他们研究利用旧的EUV光刻机,来实现先进工艺。

ASML表示,到目前为止,全球也仅卖出5台High NA EUV光刻机,只有intel、三星下了单,其它的客户都不买。

如果其它客户不买,High NA EUV光刻机卖不掉,对于ASML而言,是致命的,意味着所谓的靠EUV光刻机进步,来推动芯片工艺进步,就是最美丽的谎言了,ASML怎么办?

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