静电吸盘
基本原理：
异向电荷之间相互吸引，即Wafer和Electron之间通过不同种电荷之间的库仑力相互吸引，使Wafer稳定在电极上。
结构上可分为：单机型和双极型，从静电吸盘材料上可分为库仑力型和迥斯热背型。
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描述
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特点： |
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1.一体烧结成型； |
