多孔质陶瓷吸盘及零部件

通过半导体整体烧结的方法,结合部位也足够平整。气孔直径和外观尺寸可以根据客户需求进行定制。

 

 

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特性: 用途:
1.整体烧结;
2.精度高;
3.形状可以根据图纸设计;
4.耐高温。
1.晶圆减薄程序的加工固定夹具(抛光、CMP);
2.大型基板吸附制造工序;
3.可根据实际需求进行订单(导电涂层、冷却中空槽等)。