半导体产业有这样一条规律,“一代技术、一代工艺、一代设备”,先研发出技术,然后形成工艺,最后再形成设备。因为不断有新技术出现,产生了新工艺,新的设备才会有企业买。而半导体设备的升级迭代,很大程度上有赖于精密零部件的关键技术突破。精密零部件不仅是半导体设备制造中难度较大、技术含量较高的环节之一,也是国内半导体设备“卡脖子”的环节之一,也支撑着整个半导体芯片制造和现代电子信息产业。按照通用性划分,半导体零部件可以分为精密机加件和通用外购件。精密机加件一般由各设备公司工程师自行设计,委外加工,一般只用于本公司生产设备,如工艺腔室、传输腔室。这种零部件的国产化相对容易,但对表面处理、精密机加工等技术要求较高。 而通用外购件一般是经过长期验证,得到众多设备商、晶圆制造厂广泛认可的零部件,更加标准化,应用数量也更大,不仅设备商会采购,晶圆厂也会采购此类部件作为耗材和备件使用,例如石英件、射频电源、泵、阀门、密封圈、流量计、陶瓷件等。这类零部件需要较强的通用性和一致性,且要得到设备商...